Radiant塔式薄膜壓電測(cè)量裝置可測(cè)量懸臂梁上沉積的壓電薄膜的壓電系數(shù)。施加在壓電薄膜上的電壓將使基片向不同方向彎曲。所述位移被配置在懸臂端的運(yùn)動(dòng)的位移傳感器捕獲。Radiant測(cè)試包可兼容72毫米(4“)和43毫米(2")兩種懸臂梁，Radiant還提供了一個(gè)塔變量(LDV)-與激光測(cè)振計(jì)或Polytec的系統(tǒng)。

Radiant塔式薄膜壓電測(cè)量裝置和Radiant高精度鐵電分析儀可以進(jìn)行三種類型的測(cè)量。

1)確定隨電壓變化導(dǎo)致的懸臂端的位移；

2)可以執(zhí)行的第二種測(cè)試是直接的D31測(cè)量。這是通過施加一個(gè)外力致懸臂*移動(dòng)，同時(shí)記錄壓電電容器產(chǎn)生的電荷來實(shí)現(xiàn)的。
3)如果使用交叉指型電極，則測(cè)量E33。

特點(diǎn)
準(zhǔn)確性--重現(xiàn)性達(dá)1%, 下載和上載達(dá) 2%
可重現(xiàn)性--裝載同一樣品，測(cè)量數(shù)據(jù)沒有變動(dòng)
靈活性--薄膜或塊體，生產(chǎn)或科研均適合
多樣性—可容納不同幾何形狀的樣品
操作簡便
不昂貴